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北京市昌平区科技园区东区景兴街18号院1号楼3层307

Delta F - 氧、水分析

DF-760E

 

基于结合库仑电量法和可调谐激光二极管传感器的分析仪

 

适合在超高纯电子级气体中检测微量级水、氧杂质含量以实现质量控制



  • 水分测量采用高度稳定的可调谐激光二极管传感器

  • 氧气测量采用非消耗型传感器
  • 低维护
  • 一台仪器适应于多种背景气体测量



性能参数


气体类型: O2 H2O
技术: 库仑电量法非消耗型电化学传感器 可调谐激光二极管
性能:  
工作量程: 0-20ppm 0-20ppm
最小推荐输出范围: 0-1ppb 0-2ppb
基本误差(精度): +/- 3%读数或+/- 0.1ppb (较大者) +/- 3%读数或+/- 0.2ppb (较大者)
T90响应时间: 小于15秒 流速为1 L/min时小于3分钟
零点漂移/月: 可忽略 可忽略
量程漂移/月: 可忽略 可忽略
最低检测限(LDL): 75ppt 200ppt
失常恢复时间: 恢复到以前稳定读数±10ppb内不超过5分钟
输出/输入:  
输出: 水、氧均采用隔离4-20mA dc并可选0-1, 0-2, 0-5或0-10V dc(标定时可设置
  冻结模拟输出)
输出范围: 可比例调整至0-2ppb至0-20ppm之间的任意范围
声光报警: 4个氧含量、4个水分含量、温度、电解液状态、水分传感器诊断、低流
  量、零点验证或标定进行中、水分分析仪脱机、标定期间氧气模拟输出冻
  结控制
双比例范围: 两路用户可选的二级模拟输出量程,在超出一级量程后可重新调整输出
继电器触点 4个可独立分配给氧气报警或氧气标定进行中指示器的非闭合触点,以及4
  个可独立分配给水分报警的非闭合触点;额定30V dc, 1A SPDT触点
串行通信: RS-232或RS-485双向串行通信
气体输送系统: 采用气动无弹簧隔膜阀、零死体积对焊组件实现传感器隔离和零点验证;
  大容量净化器滤除任何水分和氧气,确保高精度零点(不适用于氧气样
  本);伴热温控型送样系统;低接触面积的整体式压力调节器;带流量控
  制的旁通回路;1/4" VCR入口接头、1/4"卡套旁通出口接头、至真空源的
  1/4"卡套出口接头、1/8"气动气体卡套入口接头
引射器真空源: 带1/4"卡套进出气接头的引射器
安装: 19“机架安装NEMA 1外壳
选项:  
泵真空源: 带1/4"卡套进出气接头的泵
氢气安全系统吹扫: 氢气应用可选安全系统包括:送样联锁、仪器外壳吹扫阀、可选外置泵的
  NEMA 4外壳和Z型吹扫保护系统;订购安全系统时,可选真空泵的NEMA
  4外壳和Z型吹扫保护系统为可选项(注意:配备氢气安全系统时继电器由
  4个减为3个)
样气:  
温度: 10°C至80°C
露点: 最低环境温度以下5°C
条件: 无油、非腐蚀性、非凝气
尘埃: 小于2μm 微粒
排空: 大气压
样气流量: 2至5 l/min(仅适用于氮气)
旁路流量: 0.25至2.5 l/min
样气压力: 30至150 psig
环境条件:  
温度: +10°C至+40°C(稳定)
湿度: 0-95%相对湿度,非凝气
海拔: 海平面以上2000米
样气接触材质 不锈钢、G10环氧树脂、聚丙烯、聚三氟氯乙烯(PCTFE)
应用条件:  
电源: 110V ac或230V ac, 50/60Hz
引射器气源: 氮气或空气,80 psig(+/- 3 psig),15 l/min,出口气流背压<2 psig
隔离包选项的气动压力: 60至100 psig



应用


集成电路板工厂大宗气体质量控制 泄漏检测